Переводчики: И Шульпина Т Аргунова В монографии английских ученых освещены основы теории и практики современных неразрушающих рентгеновских методов исследования и контроля реальной структуры материабцмцтлов электронной техники Объединены высокоразрешающая дифрактометрия и топография, которые особенно эффективно используются совместно, охвачены все аспекты их применения Особое внимание уделено интерпретации дифракционных данных и изображений дефектов в кристаллах, а вемийтакже современной технике исследований, включая использование сверхмощных источников синхротронного излучения Для научных работников, инженеров, преподавателей и студентов, специализирующихся в области материаловедения, кристаллофизики и технологии материалов электронной техники Перевод с английского Авторы Д Боуэн D Keith Bowen Б Таннер Brian K Tanner. |